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产品名称: 美国派克PARKER隔膜减压调压阀
产品型号:
产品时间: 2020-08-25
美国派克PARKER隔膜减压调压阀:二级减压调压阀,为高压超高纯度(UHP)应用而设计。该系列产品拥有优异的稳定性并降低供给压力作用的影响 - 不管入口压力如何波动,出口压力保持稳定。

产品先容

美国派克PARKER隔膜减压调压阀概况:

派克Veriflo部门的735W和NPR735W(亚大气压)系列阀门,是为高压气体分配系统而设计,特别是用于超高纯度(UHP)半导体制造操作系统。 该系列产品适用于惰性和腐蚀性气体,具有二级隔膜设计,可大限度地减少供给压力的影响; 因此,无论入口压力如何波动,都能提供稳定的出口压力。

 
735W系列调压阀具有独特的压缩构件,其在润湿区域无螺纹,从而提高泄漏完整性,并减少颗粒的产生和截留的风险。此种调压阀配有100级洁净室,由Veriflo专有的Vericlean™ 316L不锈钢制成,并带有PCTFE(聚三氟氯乙烯)或者 Vespel®(聚酰亚胺)阀座。这些材料,标准的全内部电抛光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升阀相结合在一起,使调压阀入口压力高达3,500 psig时都能保有其的耐腐蚀性和清洁度。阀座还具有自定位设计,可做重复有效关闭,稳定的密封性,以及J确
的压力调节。它通过集成的过滤网保护其不受上游气缸带来的污染。

 
735W系列调压阀,当阀座出现泄漏时,阀门关闭以阻隔带有腐蚀性或有害气体泄漏,并且通过消除下游潜在的聚积高压而提高安全性。调压阀内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行内外部氦气泄露检测,以确保在苛刻的要求清洁度的UHP应用中,保有其性能和可靠性。 

美国派克PARKER隔膜减压调压阀描述:

市场:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业

特点和优势:
• 独特的压缩构件无需螺纹穿孔将密封与本体连接在一起
• 高循环使用寿命(包括耐腐蚀性)
• 内部弹簧设计小化颗粒的产生和气体截留
• 金属对金属隔膜到阀体的密封确保高泄漏完整性
• 内部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He (额定)
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全压力范围使用:从真空到3,500 psig (NPR735W可用于亚大气压的压力控制)
• Cv 0.04
• 标准的全内部电抛光

应用:

• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 燃气柜
• 阀组箱(VMB)
• 上游工艺管线

 

 

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